Здравствуйте.
Что за постпроцессор используете?
Маловато двух знаков после запятой.
Возможно нужно изменить допуск в постпроцессоре, открываете его на редактирование в "Post Processor Utility", потом в верхней менюшке File -> Option file settings -> в открывшемся окне в списке пункт General и параметр "NC Program Tolerance" ставите в 0.00001.
Возможно нужно у самих траекторий поставить допуск в 0.01 хотяб (не помню, настраивается ли это в ArtCam, т.к. я в основном в PowerMill).
Ну и попробуйте вот этот: